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半导体行业有机废气毒气净化处理设备厂家

2021-03-16

对于半导体行业有机废气及有毒气体的治理,废气处理厂家尝试采用低温等离子废气处理技术,与以往的处理技术相比,处理效果有所提高。

在污染较重的情况下,半导体企业大量使用有机物质。主要有半导体工业中的有机废气,可分为由半导体制造过程和半导体封装过程所产生的有机废气。

一、厂家对有机废气和有毒气体的处理方法。

目前国内对有机废气和有毒气体的治理技术基本相同,所以,对这两种废气的治理技术,我们将合并讨论。

目前,半导体制造过程中排放的废气中含有有机成分(voc),通常通过直接焚烧,活性炭吸附,生物氧化等方法处理。但是三种方法都有一些缺点:

1.高风量低浓度有机废气的直接焚烧会产生大量的油耗和不必要的污染,建议直接焚烧的只有高风量有机废气,半导体制造的有机废气的排放具有浓度低、风量大的特点,因此一定要考虑将有机废气浓缩后再进行焚烧处理。

2.活化碳吸附法,由于其材料性质,存在燃烧快,水分敏感性高,脱附后残余负荷高等缺点,在半导体工业中已基本停止使用。

3.生物氧化技术作为一种较新的处理技术,在大风量的处理上还需要做更多的研究与开发工作。

二、针对半导体工业有机废气及有毒气体的治理,低温等离子性废气净化技术的基本原理如下:

1.把普通220V/380V交流电通过变压器、变频器,转换成高频高压,产生足以击穿气体的电压,释放出高能电子,这种电子会打破有机废气中的气体分子间的化学键,使其断开连接,从而产生各种碳原子、氧原子、氢原子、氢原子、氢氧自由基、臭氧等混合物,在等离子体中,氧原子与碳原子结合,形成水分子,然后生成二氧化碳(CO2)和水(H2O)等排放到大气中的气体。

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三、低温等离子废气处理工艺具有如下优点:

1.在放电产生的低温等离子体中,电子能很高,能与几乎所有臭气分子起作用。

2.反应速度快,无受气速度限制。

3.使用抗腐蚀材料;

4.仅需电力供应,操作非常简单。

5.仪器起动、停很快,随用随开,常温常压下即可使用。

6.气阻小,适用于处理风量大的废气。

四、低温等离子废气处理技术可以对下列半导体企业的废气进行治理:

Ø 集成电路生产企业:主要包括数字集成电路板及模拟集成电路板生产企业

Ø 分立器件生产企业:主要包括晶体二极管、三极管,整流二极管,功率二极管、化合物二极管等生产制造企业

Ø 光电组件生产企业:包括LED、OLED、LCD、光伏太阳能等的生产制造企业。




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