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利用高能高臭氧紫外线束分解空气中的氧分子，产生游离氧，即活性氧。由于自由氧携带的正负电子不平衡，需要与氧分子结合产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对有机气体和其他刺激性气味的去除有很快的效果。利用排气设备将有机气体输入净化设备后，利用高能紫外光和臭氧对有机（异味）气体进行分解和氧化，使有机气体降解为低分子化合物、水和二氧化碳，然后通过排气管排出体外。
